0791-86509676
成果名称：无掩模扫描式光刻系统
项目简介：
TZ系列DMD无掩模滚动式扫描光刻设备是基于先进的DLP技术，通过DMD滚动显示图像，控制运动平台与图像的滚动显示同步来替代步进曝光，其投影曝光与移动相结合。并通过软件载入MASK实现DMD幅面均匀性曝光，真正实现面向工业化需求的高精度、高效率、大尺寸、任意图形无掩模光刻。长春长光天辰光电科技有限公司（隶属于中国科学院长春光机所）开发并生产的TZ全系列产品，光刻头可以进行单独订制，亦可订购配套使用的高精密位移平台。对于仅订购光刻头的用户，我们提供光刻头与现有平台的接口设计与通信控制等服务。
| 买卖双方需提供材料 | 转让成功后买家会获得 | |
| 买家 | 1、身份证复印件或企业营业执照 2、在平台提供的转让协议和委托书上签字盖章 3、在办理文件副本请求书上签字盖章 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
| 卖家 | 1、身份证复印件或企业营业执照 2、在平台提供的转让协议上签字盖章 3、专利证书或者授权通知书原件 |
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